外延设备反应气体冷却器火灾事故
事故概况：
在外延生长设备的排气系统中安装的气体冷却器进行维护作业时，反应副生成物引发火灾，作业人员轻度烧伤，使用气体为单硅烷和氢气。
作业由两名人员进行，在向气体冷却器流入冷却水后，准备进行拆卸。作业员A按住气体冷却器本体，作业员B握住气体冷却器盖，准备拔出时，气体冷却器内部的反应副生成物发生了火灾。
事故原因：
● 操作时冷却水流量不足
● 反应副生成物的体积量过大
● 少量水分与反应副生成物反应导致温度上升，并因气体冷却器法兰部分摩擦引发火灾
事故对策：
外延工序
功能性材料的晶体生长成膜工序，需要用于检测膜材料气体、掺杂气体等的检测器！
