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半导体现场气体安全案例剖析:特气柜爆炸真相

来源: 更新:2025-08-11 10:18:42 作者: 浏览:142次

在各类涉及气体存储的场所中,气瓶柜如同守护安全的 “第一道闸门”,但其潜在风险却常因 “不起眼” 的细节被忽视。近年来,从实验室的小规模气体泄漏到半导体FAB工业车间的柜体倾倒事故,一次次惨痛教训都在警示:气瓶柜的安全管理绝非 “可有可无” 的附加项,而是关乎生命与生产的 “必答题”。

案例 1 硅烷气体在钢瓶柜内的爆炸

事故概要:

在试图将硅烷和一氧化二氮导入 CVD 装置进行实验时,硅烷容器发生爆炸,造成 2 人死亡、5 人受伤。

事故原因:

更换硅烷气体钢瓶的过程中,硅烷气体高速流入排气系统的泵侧并发生泄漏。之后,由于流速下降,硅烷气体与空气发生反应并着火。此次着火引发了全自动气体控制钢瓶柜内及控制部内泄漏滞留的硅烷气体爆炸。

事故对策:

① 将反应气体各自的氮气吹扫系统分开,并采用配备安全机构的钢瓶柜;
② 对作业人员实施安全教育及培训。;
③ 采用内置节流孔的钢瓶(实施适当流量对策);
④ 采用气动容器阀(常闭状态更安全,响应速度快);
⑤ 远程操作(防止万一发生爆炸时作业人员受到波及);
⑥ 钢瓶柜及供气室采用防爆结构;
⑦ 按气体种类分开设置钢瓶柜(预防二次灾害);
⑧ 从多个角度充分研讨自动设备的程序内容;

案例 2 容器更换时松开正在使用的接头引发火灾

事故概要:

在更换硅烷、膦混合气体容器的作业中,作业人员试图区分并拆除已更换的满瓶与空瓶时,误将满瓶的袋形螺母松开,喷出的火焰(该混合气体为自燃性气体)导致作业人员烧伤,同时引发火灾。

事故原因:

作业检查不充分:据认为是作业人员的基本操作训练不足。

事故对策:

① 完善作业手册(双人作业、检查单);
② 作业再培训(接头的松紧、阀门的开关、容器更换);
③ 安装袋形螺母保护盖(与作业联动);

 

● 要筑牢气瓶柜的安全防线,需从 “防、查、治” 三个维度发力。在预防层面,应严格遵循设备选型标准,优先选用具备防爆、防泄漏、自动报警功能的智能气瓶柜,同时规范气瓶存放流程,确保不同性质的气体(如易燃与助燃气体)分区存放,避免混放引发化学反应。

● 定期检查是阻断隐患的关键。需建立 “日巡查、周细查、月全查” 的制度:每日检查阀门关闭状态、软管连接密封性;每周重点核查螺丝紧固度、柜体稳定性;每月对报警系统进行全面校准,模拟泄漏场景测试传感器灵敏度与排风联动效果。对于老化的软管、磨损的部件,要 “零容忍” 地及时更换,绝不能因 “还能凑合用” 而拖延。

● 技术升级则为安全再加一道 “保险”。通过安装气体浓度检测仪,实时监测数据,一旦出现异常立即触发声光报警并推送信息给负责人,实现 “早发现、早处置”。同时,定期组织操作人员进行安全培训,强化 “细节决定生死” 的意识,杜绝违规操作,才能让气瓶柜真正成为安全的 “守护者” 而非 “定时炸弹”。

气瓶柜的安全管理,本质上是对 “敬畏生命、重视细节” 理念的践行。唯有将每一个螺丝、每一段软管、每一次检查都做到位,才能从根源上遏制事故,让实验室、工业车间真正成为安全的生产科研空间。

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