12月1日，洛阳市生态环境局发布昊华气体有限公司半导体用刻蚀气体项目环评报告公示。
项目名称：半导体用刻蚀气项目；
建设单位：昊华气体有限公司；
建设地点：洛阳市孟津区先进制造业开发区石化园区道南路12号；
总投资金额：13527万元，环保投资240万元；
项目概况：拟利用三氟化氮一期精品场地建设半导体用刻蚀气生产装置，主要布设尾气处理区、冷液系统及热油系统区、产品膜压机区、精馏分离区、吸附区与产品充装区，新增装置配套制冷站、热油机和废气处理设施。
项目装置生产规模1440t/a，其中电子级溴化氢为400t/a、电子级三氟化硼为30t/a、电子级一氟甲烷为50t/a、电子级二氟甲烷为60t/a、电子级三氟甲烷200t/a、电子级六氟乙烷100t/a、电子级八氟环丁烷 400t/a、电子级六氟丁二烯200t/a，副产40%氢溴酸 100t/a和99.6%三氟化硼1.919t/a。
