本项目旨在开发以高纯钨粉为原料、经氟化反应—多级精馏—深度纯化制备6N级六氟化钨的全套工艺技术，建成自动化连续化中试装置，产品质量全面满足SEMI C70标准及GB/T 32386-2025《电子工业用气体 六氟化钨》6N等级要求。
目前工业上生产六氟化钨的主流工艺为氟化剂氧化法，分为以氟气为氟化剂与钨粉反应，以及以三氟化氮为氟化剂两种路径，其中氟气法是目前工业生产的主流方法，经提纯精馏后产品纯度可达99.999%以上。目前全球高端6N级六氟化钨市场主要由韩国SK Materials、日本关东电化、美国空气化工等企业主导。国内中船特气、昊华气体、南大光电等已建成电子级WF₆产线。但能够稳定批量供应6N级产品、且金属杂质达到ppb级的企业极少，高端产品仍依赖进口，供应链安全存在隐患。
1、氟化反应过程的杂质控制：氟化反应过程中MoF₆、SF₆等杂质选择性抑制困难，开发高纯钨粉预处理以及精确控制反应温度、氟气浓度等工艺参数，抑制MoF₆、SF₆等副产物的生成，从源头上降低金属杂质含量。
2、痕量共沸杂质高效分离：WF₆与HF、CF₄、MoF₆等杂质相对挥发度接近，常规精馏难以实现深度脱除，需开发多级精馏与吸附耦合的高效纯化工艺。
3、超痕量分析检测能力：6N级产品中金属离子等杂质需控制在ppb甚至ppt级别，对检测方法的灵敏度和准确性提出极高要求，需建立GC-MS、ICP-MS等多技术联用的痕量杂质检测体系。
4、洁净容器及输送技术：六氟化钨遇水分解产生HF，腐蚀性强，对生产设备、包装容器、管路系统的材质选择和表面处理要求极高，需开发316L不锈钢内壁电解抛光钝化等洁净储运技术。
5、连续化生产与自动化控制：目前国内六氟化钨生产以间歇操作为主，生产效率低、质量稳定性差，需开发全流程连续化中试生产装置，并建立智能控制模型。
2、形成6N级WF₆成套工艺包。
3、知识产权：申请核心工艺发明专利≥5项。
4、生产成本：规模化（≥100吨/年）6N级产品利润率达20%。连续稳定运行≥3个月，产品通过下游头部芯片厂商认证。
项目总周期15个月（自合同签订日起），分为两个阶段：
第一阶段（小试及机理研究，5个月）：完成氟化反应热力学/动力学、杂质迁移规律研究，确定纯化路线，小试装置产出6N级样品（纯度≥99.9999%），进行小批量产品检测认证，并建立全套分析方法。
第二阶段（中试验证，10个月）：设计建设中试装置（产能≥100吨/年），优化精馏—吸附耦合工艺，实现连续稳定运行，产品达标，完成长周期考核，通过SEMI标准第三方检测及用户认证，提供完整工艺包及工程设计文件。
1、揭榜方应为中华人民共和国境内依法注册的企事业单位、科研院所、高校或具有独立承担民事责任能力的自然人/团队，具有良好的科研诚信及履约能力。
2、在电子特种气体、氟化工或有色金属冶金领域具备深厚研究基础，拥有高纯纯化、精馏或金属氟化物制备核心技术成果者优先。
3、项目负责人应具有高级职称或博士学位，承担过国家级/省部级重点研发项目经历，能够投入足够精力保障项目按期完成。
4、允许多家单位组成联合体揭榜，须明确牵头单位及分工方案。
5、具有良好的商业信誉，无知识产权纠纷，承诺项目成果按约定共享或转让。
有意向的单位、团队请于5月15日前提交揭榜方案，揭榜方需提交加盖单位公章的营业执照扫描件及揭榜人身份证复印件扫描件，发送至发榜人邮箱，邮件主题请注明“[单位名称]—[项目名称]揭榜文件”。发榜人审核通过后，将向符合条件的揭榜单位发送“揭榜挂帅”项目揭榜申报书电子版。
文章来源：中国有色金属杂志
