


7月19日,北鲲计划——滨化集团电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会举行。

滨化集团通过工艺、工程、检测、充装四方面技术突破,其生产的半导体用高纯氟化氢产品品质达到6N等级(99.9999%),处于国内领先、国际一流水平。这标志着我国在半导体关键材料领域打破国外长期垄断,填补了国内高纯氟化氢产能空白。
高纯氟化氢气体如同一把精密“刻刀”,是半导体晶圆制造中干法蚀刻、腔体清洁等关键工艺的核心电子特气,其纯度直接决定晶圆良率。6N级高纯氟化氢是适配28纳米及以下先进制程的必需品。此前,我国6N级高纯氟化氢长期依赖进口,国外企业垄断全球约80%的市场份额。
半导体级氟化氢要求纯度达到99.999%(5N)以上。“从5N到6N,不仅仅是多提纯一次,而是一整套全新纯化体系的建立。”滨化集团特种化学品事业部总经理刘腾介绍,实现6N纯度,关键是攻克氟化氢中痕量水、二氧化碳、含氧有机物等互溶杂质。在精馏段设计多重精馏耦合系统,通过优化塔内件和操作窗口,在特定压力梯度下实现碳氧杂质深度脱除,从根本上控制碳氧等关键杂质。同时,企业自主开发密闭精准取样系统和高灵敏分析方案,将取样过程中的环境本底干扰降至最低,确保分析数据真实反映产品质量,保障了6N指标的稳定可靠。
目前,6N等级高纯氟化氢市场价格在200万元/吨以上。滨化集团已完成50吨/年高纯氟化氢钢瓶充装线的建设与调试,并取得山东省特检院颁发的气瓶充装许可证,已开始向国内外重点客户进行产品推介。
由中国化工学会组织的“半导体先进制程用超高纯电子级氢氟酸关键技术与应用”项目成果评价会也在滨化集团举行。专家组一致认为,该项目关键技术及产品指标达到国际先进水平。
超高纯电子级氢氟酸项目是山东省重点研发计划(重大科技创新工程)项目,由滨化集团联合天津大学共同完成。项目团队成功攻克氢氟酸纯化、高效吸附及清洗充装关键装备等技术瓶颈,实现连续化、规模化、稳定化生产。产品指标优于SEMI-G5级,已顺利导入14纳米先进制程半导体终端客户,品质和稳定性获得行业头部企业认可。项目首创电子级氟化氢反应-精馏耦合提纯新工艺,开发新型填料结构与电子化学品包装桶全自动浸没式旋转气泡清洗装置,构建全过程质量闭环管控体系,形成具有自主知识产权的工业化生产工艺体系。
此次高纯氟化氢气体投产,进一步完善了我国半导体先进制程关键材料的自主供应能力;超高纯电子级氢氟酸通过国际先进水平评价,为国产化规模推广提供了工程化示范支撑,对保障我国集成电路产业链供应链安全稳定具有深远的战略意义。
近日,皖江江南新兴产业集中区管委会与池州昀冢电子科技有限公司达成协议,总投资15亿元高性能多层片式陶瓷电容器生产项目成功落户。

该项目拟分两期建设片式多层陶瓷电容器智能化产线,主要产品为高性能片式多层陶瓷电容器。首期投资7.5亿元,计划今年9月前启动建设,预计今年年底投入生产。二期将结合项目运营情况另行投建。


池州昀冢电子科技有限公司厂区
多层片式陶瓷电容器系电子工业关键基础元器件,广泛应用于消费电子、汽车电子、通信及工业控制等领域,目前国产替代空间广阔、发展潜力突出。
内蒙古一个压缩空气储能项目的EPC总承包,最近出了中标结果。中国能建江苏电建一公司拿下了这个项目,中标金额约42.93亿元。
项目在锡林郭勒盟西乌珠穆沁旗巴彦花镇境内,属于电网侧储能电站。建设规模是3台350兆瓦机组,总储能容量4200兆瓦时,满功率持续发电4小时。

采用非补燃式压缩空气储能技术路线,地下储气库用的是人工硐室方案,储气库运行压力范围9.6到17兆帕,总容积约63.9万立方米。
储热采用中温技术路线,额定工况下充电时长6.5小时,满功率持续发电4小时。地面电站设计使用年限30年。
以1回500千伏线路接入宝拉格500千伏变电站,送出线路工程由当地电网公司负责建设,不在这次EPC范围内。
中标金额42.93亿元对应的是地面电站工程,地下储气库要另外签合同。人工硐室的方案意味着要专门挖地下洞室来储气,跟盐穴储气或者废弃矿洞储气不是一个路子。
7 月 8 日,河北晋州经济开发区行政审批局发布受理公示,河北盈科气体有限公司 15000 吨 / 年电子特气充装及 17000 吨 / 年医用气体生产项目环境影响报告表正式受理,公示期为 7 月 8 日至 7 月 14 日。
项目总投资 1.5 亿元,选址石家庄市晋州市经济开发区马于园区经三街与纬五路交叉口北行 100 米路西,总用地 20021㎡,总建筑面积 4825.57㎡,工程分两期建设,核心产能为 15000 吨 / 年电子特气充装产线。
占地 18081㎡,建筑面积 4523.07㎡,为本项目重点建设内容:
一期建成后将补齐华北区域电子特气分装配套供给能力,服务本地及周边半导体、电子制造产业原材料配套需求。
占地 1940㎡,建筑面积 302.5㎡,规划建设 17000 吨 / 年医用气体生产线,作为厂区辅助产能布局。
项目全部投产后,企业整体产能格局清晰:具备年充装 15000 吨电子特气、储存 50 吨乙炔、年产 17000 吨医用气体的综合生产充装能力。
电子特气作为核心电子专用材料,是芯片、显示面板制造不可或缺的关键原料。本次项目落地,将进一步完善石家庄及华北地区电子化学品配套产业链,扩充区域电子特气本地化充装产能供给。