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供应磷烷混合气 PH3气体

来源:中国气体网 发布时间:2018-12-18 16:57:01 浏览:121次
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交易类型
供应
标题
供应磷烷混合气 PH3气体
具体产品 磷烷混合气 PH3气体 产品规格 可以配比不同浓度
供应量
不限
公司名称 保定市北方特种气体有限公司 公司类型 气体厂 联系人 张经理
联系电话 17332136917 邮箱 beifangteqi@163.com 地址 河北省保定市七一东路保定工业园区科苑街268号
详细说明
保定北方特种气体有限公司,可以配比不同浓度,不同钢瓶容积的磷烷、砷烷、硅烷、硼烷等电子特气。原厂品质,请放心购买。 1%PH3+H2 1+/-0.03% PH3: 6N H2O≤0.1,CO2≤0.1,N2≤0.1,O2+Ar≤0.2,AsH3≤0.1,,THC≤0.1 48.8L CGA350 100KGf/cm2 H2:O2+Ar≤0.1,N2≤0.1,CO≤0.1,CO2≤0.1,THC≤0.1,H2O≤0.1 440L DISS632 作用 在电子气家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大,是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 N型掺杂源,同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 Ga P材料、离子注人工艺、MO C V D工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。PH3 ,易燃、易爆、剧毒,其毒性 数为:PEL/TLV 0.3×10, STEL1×10,LC5020×1O,ZDLH200×10,属剧毒危害品。

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