（1）行业概况
电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺 杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源”。电子特气是电子气体的一个重要分支，是集成电路、平面显示器件、太阳能电池 等电子工业生产不可或缺的原材料。
资料来源：前瞻产业研究院 思瀚整理
在下游应用领域中，半导体领域对电子特种气体的纯度和质量稳定性要求最高。近年来集成电路制造领域技术快速更迭，制程节点不断减小，晶圆尺寸不断变大。作为集成电路制造的关键材料，伴随着下游产业技术的快速迭代，电子特气对纯度和精度的要求持续提高，比如在纯度方面，普通工业气体要求在 99.99% 左右，但是在先进制程的集成电路制造过程中，气体纯度要求通常在 6N （99.9999%）以上。
电子特气对半导体器件性能好坏起到重要作用。电子特气在 半导体制造的材料成本中占比为 13%左右，是半导体制造成本中仅次于硅片的第 二大材料。
（2）市场空间和市场竞争格局
全球电子特气市场保持平稳增长。根据 SEMI 数据，2019 年全球电子特气 市场规模为 42 亿美元。根据 SEMI 预计，至 2020 年电子特气在半导体材料中的 占比将会进一步提高，将超过光掩模成为占比第二大的材料，约占 13%，市场规 模将达到 43.7 亿美元。2019 年起行业增速将有所回落，未来行业将保持在 5% 左右的增速。
数据来源：SEMI 思瀚整理
中国特种气体市场增速明显高于全球平均，市场潜力大。近年来，全球半导体、显示面板产业逐步向国内转移，打造“中国芯”、实现进口替代的紧迫性、 重要性不断加强，半导体集成电路方面的自主研发及产业化将得到大力推动，集成电路、显示面板产业的发展将形成对电子特种气体材料需求的有效带动。根据前瞻产业研究院数据，中国电子特气 2020 年市场规模为 150亿元，占全球比例约为 48%，预计 2024年我国电子特气市场规模将达到 230 亿元，全球占比将提高至 60%，2020-2024 年复合增速将达 11.28%。
2020 年上半年，韩国三星、LG等公司宣布今年内关闭位于中国、韩国的 LCD 面板厂，加速了 LCD 面板产能向国内厂商转移的速度。根据中国产业信息网的数据，韩国厂商的加速退出将使得其 2020 年及 2021 年的 LCD 面板供给量 分别下滑 5.4%和 3.5%。相应地，LCD 面板行业将呈现结构性变化，大陆面板厂 商迎来替代机遇。
根据思瀚数据显示，大陆面板厂的大尺寸面板产能占比从2019 年的 44.8%提升至 2021 年的 65.3%。随着全球半导体产业链向国内转移，国内电子气体市场增速明显，远高于全球增速。近年来国内半导体市场发展 迅速，在建和未来规划建设的产能为电子气体提供了广阔的空间。
数据来源：前瞻产业研究院
从细分产品来看，砷烷、磷烷主要用于集成电路制造的掺杂工艺和 LED 的 化学气相沉积工艺，是半导体领域加工制造过程中的关键材料之一。下游以集成 电路为主的旺盛需求为磷烷砷烷提供了广阔的增长空间。
根据QY Research数据， 全球磷烷、砷烷产能于 2028 年将分别达到 480 吨、290 吨，2022 年至 2028 年复 合增长率分别为 12.25%、13.59%，保持稳健增长。这其中，国内高纯磷烷产能 在 2024 年将达到 212 吨，占全球比例为 55.79%，至 2028 年预计将达到 292 吨， 占全球比例上升至 60.83%，2022 年至 2028 年复合增长率达到 19.16%，增速高 于全球水平；国内高纯砷烷产能 2024 年将达到 160 吨，占全球比例为 60.38%， 至 2028 年预计将达到 180 吨，占全球比例上升至 62.07%，2022 年至 2028 年复 合增长率达到 23.80%，亦高于全球水平。同时，国内市场销售规模也呈快速增长趋势。
国内磷烷 2021 年市场规模为 10,802 万元，预计 2028 年将达到 33,000 万元，全球占比将达到 46.02%；国内砷 烷 2021 年市场规模为 8,412 万元，预计 2028 年将达到 15,880 万元，全球占比将 达到 38.93%，中国将成为磷烷、砷烷的主要销售地区。含氟电子特气作为集成电路制造领域优良的等离子蚀刻和清洗材料，近年来 呈现良好的增长趋势。
华经产业研究院、QY Research 的统计显示，2021 年国内 三氟化氮需求量达到约1.6万吨，占全球约40%-42%。QY Research预测2019-2021年国内三氟化氮需求量复合增长率约为 23.2%，华经产业研究院预计为 28.7%， 按照低值 23.23%保守预计，至2025 年，国内三氟化氮市场需求量达到 3.7 万吨，2030 年超过 10 万吨。
从整体上看，我国电子特气呈现出受制于人的局面，但从细分市场上看，我 国部分特气产品已实现弯道超车，需通过进一步扩产来扩大市场份额、巩固竞争 优势。如在磷烷、砷烷领域，南大光电的高纯磷烷、砷烷产品已实现自主可控并已占据市场主要份额；在含氟电子特气领域，国内厂商已经是国内三氟化氮市场 的主要供应商，但由于旺盛的产品需求和对国际厂商的替代，仍需进一步进行扩产。
